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產(chǎn)品型號:
所屬分類:日本CKD電磁閥
更新時間:2024-08-09
簡要描述:CKD氣控閥,喜開理氣控閥樣本頻率30/分以下安裝方式自由比原有產(chǎn)品Part 3系列使用壓力范圍更大。控制壓力通用,A、B 口的使用壓力通用化了。
CKD氣控閥,喜開理氣控閥樣本
:使用前請確認產(chǎn)品構(gòu)成材料與使用流體及周邊環(huán)境是否適用。
注2 :使用氫氟酸或者含有氫氟酸的化學(xué)液體時,
請在5~80°C范圍內(nèi)使用。
如果連接方式為F-LOCK60系列配件,溫度范圍變?yōu)?~100°C。
Cv值是溫度為23°C時的值。
使用流體純水、化學(xué)液體、空氣、氮氣(注1)
流體溫度°C 5~120 (注2、注3)
耐壓MPa 1.0
使用壓力(A→B) MPa 0~0.5
CKD氣控閥,喜開理氣控閥樣本
在使用半導(dǎo)體以及LCD制造的清潔化學(xué)液體(包括純水)的設(shè)備
內(nèi),用于控制化學(xué)液體壓力的減壓閥
■對異物非常敏感的內(nèi)置型過濾器
■流量、壓力特性良,安裝簡單
■良的耐腐蝕性
接液部位使用氟樹脂(PFA、PTFE)和SUS316,可發(fā)揮良的耐腐蝕性
■壓力及流量特性
使用氟樹脂膜片,與金屬膜片相比,壓力和流量特性更加
■由于過濾器為內(nèi)置型,更能流體內(nèi)無異物,更安全
■采用面板安裝,使安裝過程更加容易,也可以在底部進行安裝
使用壓力(B→A) MPa 0~0.5
閥座泄漏cm3/min 0 (水壓時)
背壓MPa 0~0.5
環(huán)境溫度°C 0~60
CKD氣控閥,喜開理氣控閥樣本
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